光镜器、掩膜台、曝光台、测量器、减震装置总计八大部分。”

　　“这八大部分是构成光刻机的主体结构。”

　　“当然，除此之外还有晶体管计算机、外部操控调节装置等等。”

　　一边说，韩元一边将桌上的图纸整理了一下，然后从里面找到减震装置相关的图纸，卷了起来拿在手上朝着合金冶炼厂走去。

　　“大家都知道，因为加工精度极高的芯片级的光刻机对存放的环境有异常严格的要求。”

　　“即便是一台小汽车从房间外行驶而过都会对光刻机的精度造成影响。”

　　“所以除了放置光刻机的楼层一般都会有特殊的避震设计外，光刻机本身也会自带隔振器，起到保护作用。”

　　而直播间里面的网友见韩元避开碳基芯片不正面回答他们的问题，纷纷在直播间里面声讨衰鸣装可怜起来。

　　【别啊，主播，咱还是聊聊碳基芯片吧，减震系统有啥好聊的。】

　　【是啊是啊，我想听碳基芯片是怎么造的。】

　　【我室友得了肺癌，只有一天可活了，临死前只想听听碳基芯片，主播你就满足这个愿望吧。】

　　【一个减震而已，有什么好说的，爸爸，我想听碳基芯片！】

　　【你们是不是也太小看减震的重要性了吧？对于光刻机这种精密度极高的设备来说，稍有震动就没法使用了，甚至这种震动弱到你都可能感觉不到。】

　　【楼上说的有道理，我北大的，16号线就因为我学校的精密仪器改线了。】

　　【好奇的问一下，光刻机的避震，还是用的弹簧吗？】

　　【这个问题我可以回答你，光刻机当然用的不是弹簧这种low比东西，至于用的什么，我也不知道§(*￣▽￣*)§】

　　【高性能主动隔振装置！我们公司就有这个卖，需要吗？价格不贵，几十万一台而已。】

　　【？？？？？】

　　【卧槽，还不贵？】

　　【想啥呢，这种几十万的，顶多用于光学仪器上，能用于光刻机上的避震，估计最少都是几百万起步的。】

　　【人家一台光刻机卖一个多亿，米金！几百万的避震，那是小意思好吗？】

　　韩元看了眼弹幕，笑道：“隔振装置一般分成两种。”

　　“第一种是被动隔振，像弹簧、橡胶、海绵、泡沫等这些都属于被动隔振装置或材料。”

　　“这些装置或材料通过减小传递到接受结构的振动强度来实现减震，有着结构简单、易于实现、工作可靠、不需要额外消耗外界能源等优点”

　　“但缺点是避震效果一般，对于高精密的仪器比如光刻机或者光学透镜来说基本没什么用。”

　　“第二种则是主动隔振装置。”

　　“这种装置其实就是一个个的动作器，但这些动作器能根据检测到的振动信号，应用一定的控制策略驱动作动器，从而达到抑制或消除振动的目的。”

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